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發(fā)布時(shí)間:2020-09-17 11:46:50 文章作者:geermo
凈化車(chē)間需要消耗大量能量,其原因是:
(1)凈化車(chē)間要使用凈化空調系統來(lái)保持潔凈生產(chǎn)環(huán)境所必需的空氣潔凈度等級、壓差、溫度、相對濕度等要求。
(2)凈化車(chē)間要使用通風(fēng)換氣裝置,包括全室或局部的送、排風(fēng)裝置。無(wú)塵車(chē)間內應根據產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程的要求排除生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵、熱量、有機溶劑等,防止污染和交叉污染,與此同時(shí)需向無(wú)塵車(chē)間內送入相應的或必需的室外新鮮空氣。根據凈化車(chē)間不同的空氣潔凈度等級的要求需要有一定的換氣次數/送風(fēng)量。
(3)凈化車(chē)間中進(jìn)行正常的產(chǎn)品生產(chǎn),生產(chǎn)工藝設備需按產(chǎn)品的特點(diǎn)供應電力、純氣、純水、高純化學(xué)晶體等,這些也需要消耗大量的能源。伴隨著(zhù)電力等能量的消耗,在凈化車(chē)間內產(chǎn)生的各種形式的發(fā)熱量還需要進(jìn)行冷卻,有時(shí)這種冷負荷量是不可忽略的。
凈化車(chē)間所需的凈化空調系統與一般工業(yè)廠(chǎng)房或辦公樓的冷空調系統相比,前者因空氣潔凈度等級和凈化車(chē)間內生產(chǎn)工藝要求的不同,冷負荷大約為2093~6280KJ/(m2·h),而后者的冷負荷僅335~502kJ/(m2·h)。半導體集成電路制造或生物醫藥產(chǎn)品的主要生產(chǎn)工序都要求在凈化車(chē)間內進(jìn)行,為了保持相應的空氣潔凈度等級,需要將大量的空氣通過(guò)高效過(guò)濾器后送入無(wú)塵車(chē)間內,辦公樓的一般空調房間的換氣次數為10次/h以下,而大規模集成電路生產(chǎn)所需的5級(100級)、4級(10級)、3級(1級)無(wú)塵車(chē)間的換氣次數可能達數百次,其送風(fēng)量將會(huì )比一般空調系統大數十倍以致百倍以上,因此凈化車(chē)間的凈化空調系統及其制冷機的耗電量比其他類(lèi)型建筑物的一般空調系統及其制冷機的耗電量大得多。劇調查統計,大規模集成電路制造工廠(chǎng)車(chē)間的凈化空調系統及其制冷機的耗電量約占工廠(chǎng)總耗電量的50%左右,制藥工廠(chǎng)無(wú)塵廠(chǎng)房的凈化空調系統及其制冷機的耗電量約占工廠(chǎng)總耗電量的60%左右。
如上所訴,凈化車(chē)間的耗能量是很大的,若凈化車(chē)間設計時(shí)有精心、周密的規劃,節約能源、降低能量消耗是可能的,節能的潛力是很大的,有關(guān)調查分析表明,即使潔凈度等級相同的凈化車(chē)間,由于設計和設置配置的不同,能耗量可能相差50%以上。因此凈化工程中車(chē)間節能是很有必要的。